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        壓電二維納米位移臺

        壓電二維納米位移臺

        壓電二維納米位移臺,XYMF-133-100A平移臺實現了在XY二維空間上的準確定位,具有分辨率高,行程大(XY軸行程±50mm),帶有高精度及高分辨率的位置反饋。操作簡單,定位準確,能在真空下使用等優點,可應用于需要納米精度運動操作及定位的各個領域。

        壓電二維納米位移臺使用壓電陶瓷驅動,運動無需潤滑,百分百真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到亞納米級。步進和掃描雙模式工作,并且在宏觀行程范圍內同樣達到亞納米分辨率的定位。支持開環閉環控制。

        二維納米位移臺XYMF-133-100A平移臺

         

        二維納米位移臺XYMF-133-100A平移臺尺寸圖1二維納米位移臺XYMF-133-100A平移臺尺寸圖2

        尺寸參數
        外形尺寸(長*寬*高) 133.0*133.0*26.1 mm
        臺面平面度 10 ?μm
        總重量 653.8 g
        運動參數
        X軸 ±50 mm
        Y軸 ±50 mm
        運動速度上限 3 mm/s
        材料
        機身 鋁合金 /
        驅動 PZT壓電陶瓷 /
        驅動機構 鈹青銅 /
        導線 屏蔽線,銅線 /
        運動控制
        閉環位置傳感器分辨率 2 nm
        開環運動分辨率 0.05 nm
        負載
        垂直運動方向負載 20 N
        沿運動方向負載 4 N
        操作環境
        操作溫度 0~60
        操作濕度 溫度達到40℃時,相對濕度95%。(非冷凝) /
        是否適用真空
        其它
        控制類型 開環/閉環 /
        驅動電壓上限 125 V

        以上就是東莞市卓聚科技有限公司提供的壓電二維納米位移臺 XYMF-133-100A平移臺的介紹,了解更多直接咨詢:13736813534

         

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